به گزارش ایسنا و به نقل از سایت فیزیک، سرپرست این تحقیق دکتر رضا مهیمنی استاد مهندسی مکانیک در UT دالاس اظهار کرد: میکروسکوپ‌های نیروی اتمی(AFM) بسیار بزرگ و حجیم بوده و دارای چندین حلقه کنترلی، الکترونیکی و تقویت‌کننده هستند. در این روش تمامی ترکیبات الکترومکانیکی کاهش یافته و کوچک شدند.
میکروسکوپ‌های نیروی اتمی AFM ابزاری علمی برای ایجاد تصاویر سه بعدی از سطح مواد با جزئیات لازم در مقیاس نانومتر هستند. میکروسکوپ‌های AFM دارای وضوح بسیار بالاتر از میکروسکوپ‌های نوری هستند و در نتیجه ویژگی‌ها و خواص بسیار ریز مواد قابل مشاهده خواهند بود.
مهیمنی و همکارانش نمونه اولیه این میکروسکوپ بسیار کوچک را بر روی تراشه با استفاده از میکروالکترومکانیکال سیستم MEMS ایجاد کردند.
وی افزود: با استفاده از روش MEMS هزینه‌ها کاهش یافته و همچنین تمامی موارد بر روی یک تراشه منفرد ایجاد شد.
نتایج این تحقیق در نشریه سیستم‌های میکروالکترومکانیکی IEEE منتشر شده است.
منبع: